在很多的半導體生產企業中都會用到超純水處理設備，主要是作為生產的用水，該設備的產水電阻率達到了15兆歐以上。
超純水處理設備在凈水的過程中會用到樹脂，但樹脂很容易被污染使其失去了凈化的能力。在堿性的環境下無機物很容易形成氫氧化物的絮狀沉淀，或者是水中硅的含量較高時都會造成樹脂孔道的堵塞，影響了樹脂的交換能力。有些時候水中還會含有大量的重金屬離子，它會使樹脂的結構發生改變，影響了樹脂的凈化能力，所以在原水進入到超純水處理設備前進行預處理是非常有必要的。
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